Emmi
对於故障分析而言微光显微镜(Emission Microscope, EMMI)是一种相当有用且效率极高的分析工具主要侦测IC内部所放出光子在IC元件中EHP(Electron Hole Pairs) Recombination会放出光子(Photon)举例说明在pn Junction加偏压此时n的电子很容易扩散到p而p的空穴也容易扩散至n然後与p端的空穴或n端的电子做 EHP Recombination
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